以下参数来自“VPS-RF05 PRO真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 发生器功率 | 射频电源0-300W连续可调 自动匹配阻抗 |
|---|---|
| 发生器频率 | 13.56 MHz |
| 腔体容积 | 5L |
| 腔体尺寸 | Φ150（直径）× 280（D）mm |
| 质量流量计 | 0-200mL/min |
| 真空传感器 | 负压表 |
| 气路设计 | 有限元分析模拟均匀分布气路， 保证清洗刻蚀均匀性 |
| 气体通道 | 配置2路工艺气路， 支持O₂/Ar/N₂/H₂等（可定制） |
| 控制方式 | PLC+触摸屏（全自动/手动） |
| 电源供应 | AC220V 50Hz |
| 整机功率 | 约1.5KW |
| 外形尺寸 | 500mm(L)×450mm(W) ×550mm(H) |
| 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 | 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 |
