以下参数来自“VPS-RF150真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 功率 | 射频电源：13.56MHz/0-1000W连续可调 抗辐射干扰自动匹配阻抗 |
|---|---|
| 频率 | 13.56 MHz |
| 腔体容积 | 150L |
| 腔体尺寸 | 500mm(L)×600mm(W) ×500(H)mm |
| 处理层数 | 6层 |
| 托盘间距 | H：67mm |
| 处理面积 | 450mm(L)*500mm(W) |
| 气体流量控制器 | 0-500mL/m MFC气体质量流量计精确控制流量 |
| 气路设计 | 腔体均匀进气气路设计，保证清洗刻蚀均匀性 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，支持O₂/Ar/N₂/H₂等 |
| 真空泵 | 油泵泵+罗茨泵 100m³/H |
| 工作真空度 | 10-100Pa |
| 真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 测量范围：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa |
| 抽真空时间 | ≤130s |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 控制过程 | 自动 / 手动 |
| 软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 |
| 工艺气体 | 气压耗尽自动报警 |
| 压缩空气 | 压缩空气压力低于设定值自动报警 |
| 真空泵组 | 泵热过载自动报警 |
| 真空系统 | 真空腔体泄露率过大自动报警 |
| 电源供应 | AC380V 50Hz |
| 气管接口 | 直径8mm |
| 气体纯度 | 99.99% |
| 气体压力 | 0.3~0.6MPa |
| 排气口 | KF25 |
| 整机功率 | 4.5KW |
| 外形尺寸 | 1100mm(L)×1000mm(W) ×1700mm(H) |
| 设备重量 | 600kg |
| 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 | 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 |
