以下参数来自“VPS-RF05真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 功率 | 射频电源，0-200W连续可调 |
|---|---|
| 频率 | 13.56 MHz |
| 腔体材质 | 进口316镜面不锈钢，军工级密封 |
| 腔体容积 | 5L |
| 腔体尺寸 | Φ150（直径）× 280（D）mm |
| 绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 |
| 气体流量控制器 | 精密针阀式浮子流量计（2路） |
| 气路设计 | 腔体均匀进气气路设计，保证清洗刻蚀均匀性 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，支持O₂/Ar/N₂/H₂等 |
| 真空泵 | 油泵 |
| 工作真空度 | 10-100Pa |
| 真空管路 | 不锈钢管路+气动阀门 |
| 控制方式 | PLC + 7寸触摸屏 |
| 控制过程 | 自动 / 手动 |
| 软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 |
| 钣金 | 钢制喷塑 |
| 电源供应 | AC220V 50Hz |
| 气管接口 | 直径8mm |
| 气体纯度 | 99.99% |
| 气体压力 | 0.3~0.6MPa |
| 排气口 | KF25 |
| 整机功率 | 1.5KW |
| 外形尺寸 | 595mm(L)×455mm(W) ×605 mm(H) |
| 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 | 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 |
