以下参数来自“VPS-RF40真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 功率 | 射频电源：13.56MHz/0-300W连续可调 自动匹配阻抗 |
|---|---|
| 频率 | 13.56 MHz |
| 腔体容积 | 40L |
| 处理层数 | 单层 |
| 处理面积 | 520mm(L)*520mm(W) |
| 气体流量控制器 | 0-200 SCCM MFC气体质量流量计精确控制流量 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，支持O₂/Ar/N₂/H₂等 |
| 真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 控制过程 | 全自动 / 手动 |
| 工艺气体 | 气压耗尽自动报警 |
| 压缩空气 | 压缩空气压力低于设定值自动报警 |
| 真空泵组 | 泵热过载自动报警 |
| 真空系统 | 真空腔体泄露率过大自动报警 |
| 电源供应 | AC220V 50Hz 总功率≤1.5KW |
| 外形尺寸 | 820mm(L)×700mm(W) ×1380mm(H) |
| 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 | 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 |
