以下参数来自“VPS-RF60真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 功率 | 射频电源0-600W 抗辐射干扰自动匹配阻抗 |
|---|---|
| 频率 | 13.56MHz |
| 腔体容积 | 60L |
| 腔体尺寸 | 400mm(L)×450mm(W) ×400(H)mm |
| 处理层数 | 5层 |
| 托盘间距 | H：64mm |
| 处理面积 | 360mm(L)*345mm(W) |
| 气体流量控制器 | 0-500mL/m MFC气体质量流量计精确控制流量 |
| 气路设计 | 腔体均匀进气气路设计，保证清洗刻蚀均匀性 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，支持O₂/Ar/N₂/H₂等 |
| 真空泵 | 油泵+罗茨泵 |
| 真空测定系统 | 皮拉尼真空计 |
| 控制方式 | PLC + 触摸屏 |
| 控制过程 | 全自动 / 手动 |
| 电源供应 | AC380V 50Hz |
| 气管接口 | 直径8mm |
| 气体压力 | 0.3~0.6MPa |
| 整机功率 | 4.5KW |
| 外形尺寸 | 1100mm(L)×1050mm(W) ×1600mm(H) |
| 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 | 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 |
