以下参数来自“VPS-MF05真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 功率 | 中频电源，0-600W连续可调 |
|---|---|
| 频率 | 40kHz |
| 放电形式 | CCP离子反应放电模式 |
| 腔体材质 | 进口316镜面不锈钢，军工级密封 |
| 腔体容积 | 5L |
| 腔体尺寸 | Φ150（直径）× 280（D）mm |
| 真空计 | 日本SMC |
| 气体流量控制器 | 精密针阀式浮子流量器（0-200sccm） |
| 气路设计 | 腔体均匀进气气路设计，保证清洗刻蚀均匀性 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，支持O₂/Ar/N₂/H₂等 |
| 真空泵 | 油泵 |
| 真空管路 | 不锈钢管路 |
| 控制方式 | PLC + 触摸屏 |
| 控制过程 | 全自动/手动 |
| 电源供应 | AC220V 50Hz |
| 气体压力 | 0.3~0.6MPa |
| 整机功率 | 1.5KW |
| 外形尺寸 | 615mm(L) × 525mm(W) × 480mm(H) |
