以下参数来自“VPS-MF10真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 功率 | 中频电源，0-600W连续可调 |
|---|---|
| 频率 | 40kHz |
| 腔体材质 | 进口316镜面不锈钢，军工级密封 |
| 腔体容积 | 10L |
| 腔体尺寸 | 200mm(L)×270mm(W) ×200(H)mm |
| 处理层数 | 2层 |
| 处理面积 | 180mm(L)*230mm(W) |
| 流量控制 | 进口浮子流量计 / 选配 MFC 质量流量控制器 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，支持O₂/Ar/N₂/H₂等 |
| 真空泵 | 油泵 |
| 控制方式 | PLC + 触摸屏 |
| 控制过程 | 全自动 / 手动 |
| 电源供应 | AC220V 50Hz |
| 气管接口 | 直径8mm |
| 气体压力 | 0.3~0.6MPa |
| 整机功率 | 1.5KW |
| 外形尺寸 | 550mm(L) × 550mm(W) × 650mm(H) |
| 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 | 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 |
